一、環境控制

1. 潔凈度
   實驗室潔凈度需≤Class 1000，避免塵埃顆粒附著在光學元件表面，導致光路散射或信號衰減。例如，在半導體封裝工藝中，塵?？赡芨蓴_激光反射路徑，影響測量精度。

2. 溫濕度

   • 溫度：保持23±1℃，避免熱膨脹導致光學元件形變或位移偏差。例如，高溫環境下，激光測振儀的光學探頭可能因熱膨脹而偏離焦點，影響測量穩定性。
   • 濕度：控制在40%-60%，防止光學元件結露或腐蝕。潮濕環境可能加速金屬部件氧化，降低設備壽命。

3. 隔振措施
   將測振儀置于氣浮隔振臺，隔離地面振動（如人員走動、設備運行產生的低頻振動）。例如，在航空軸承振動測試中，地面振動可能掩蓋軸承的微小振動信號，導致數據失真。

二、設備校準與調試

1. 光路校準
   • 聚焦位置：激光束需聚焦于被測物體振動幅值最大處（如劈刀下方50μm）。若聚焦偏差過大，信號強度可能低于檢測閾值。
   • 實時監控：集成顯微成像系統，確保光斑位置穩定。例如，在超聲引線鍵合工藝中，光斑偏移可能導致測量值偏離真實振動位移。
2. 反射率優化
   • 對反光性不足的表面（如啞光金屬、復合材料），噴涂氧化鈦粉末或貼附1μm反射膜，提升激光反射率至>70%。例如，航空軸承表面若未處理，反射信號可能過弱，無法被有效檢測。
3. 波長與靈敏度校準
   • 使用標準振動源（如壓電陶瓷激振器）對測振儀進行靈敏度校準，確保量程和相位精度滿足要求。例如，若未校準，測振儀可能低估高頻振動幅值，導致故障漏判。

三、操作規范

1. 測量模式選擇
   • 根據被測物體特性選擇單點或掃描模式：
     • 單點模式：適用于定位特定缺陷（如軸承外圈剝落點），通過高頻采樣（如1MHz）捕捉瞬態沖擊信號。
     • 掃描模式：通過激光束快速掃描表面，生成全域振動云圖，識別局部異常振型（如滾動體分布不均導致的周期性振動）。
2. 參數設置
   • 同步觸發：通過TTL脈沖信號觸發測振儀，確保采集窗口覆蓋完整振動周期（如120kHz振動對應8.3μs周期）。
   • 采樣率：≥5倍于最高頻率（如測量200kHz振動時，采樣率需≥1MHz），搭配抗混疊濾波器（截止頻率500kHz）。
   • 信號增強：采用64-128次相干平均，抑制隨機噪聲（如拋光液流動干擾）。
3. 安全距離與視線
   • 操作時與激光發射口保持安全距離，避免長時間直接注視激光束。例如，Class 3R激光可能對眼睛造成性損傷。

四、安全防護

1. 激光安全
   • 佩戴防護眼鏡，防止激光直射眼睛。例如，在航空軸承測試中，高速旋轉的軸承可能反射激光，增加眼部受傷風險。
2. 防爆與防碎片
   • 高速軸承測試需配備防爆罩，防止碎片飛濺。例如，軸承失效時可能產生高速金屬碎片，對操作人員造成傷害。
3. 電氣安全
   • 使用穩定電源和穩壓器，確保電壓/電流符合設備要求。接地處理需符合國標，防止電氣故障引發觸電或設備損壞。

五、維護與保養

1. 定期校準
   • 每6-12個月進行一次響應校準，防止波長偏移影響測量結果。例如，長期使用后，設備可能因元件老化導致測量誤差累積。
2. 清潔與檢查
   • 定期清潔光學元件（如鏡頭、光纖接口），防止灰塵或油污影響進光效率。檢查電纜和接頭是否松動，確保電氣連接穩定。
3. 存儲條件
   • 長期不使用時，將設備存放于干燥、防塵的環境中，避免光學元件受潮或腐蝕。